電子顯微鏡的成像原理
2021-08-25(1809)次瀏覽
電子顯微鏡是以電子束為照明源，通過電子流對樣品的透射或反射及電磁透鏡的多級放大后在熒光屏上成像的大型儀器，電子顯微鏡由鏡筒、真空裝置和電源柜三部分組成。電子顯微鏡按結構和用途可分為透射式電子顯微鏡、掃描式電子顯微鏡、反射式電子顯微鏡和發射式電子顯微鏡等。那么電子顯微鏡的成像原理是怎樣的呢？下面深視光谷小編來給大家介紹。
電子顯微鏡的成像原理：
1、吸收像：當電子射到質量、密度大的樣品時，主要的成相作用是散射作用。樣品上質量厚度大的地方對電子的散射角大，通過的電子較少，像的亮度較暗。早期的透射電子顯微鏡都是基于這種原理。
2、衍射像：電子束被樣品衍射后，樣品不同位置的衍射波振幅分布對應于樣品中晶體各部分不同的衍射能力，當出現晶體缺陷時，缺陷部分的衍射能力與完整區域不同，從而使衍射波的振幅分布不均勻，反映出晶體缺陷的分布。
3、相位像：當樣品薄至100?以下時，電子可以穿過樣品，波的振幅變化可以忽略，成像來自于相位的變化。
以上內容就是對電子顯微鏡的成像原理的介紹了，電子顯微鏡常用的有透射電鏡和掃描電子顯微鏡，與光學顯微鏡相比電子顯微鏡用電子束代替了可見光，用電磁透鏡代替了光學透鏡并使用熒光屏將肉眼不可見電子束成像。通常情況下，電子顯微鏡放大倍數比光學顯微鏡高得多。
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